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准分子激光器是70年代发展起来的高能量紫外波段激光器,起初用于硅酮类高分子化合物的光蚀刻。1983年,Trokel等首先用氩氟准分子激光进行角膜切割的实验研究,开始了准分子激光在眼科临床的应用。90年代初,由于美国FDA的正式批准白癜风,准分子激光开始大量应用于治疗眼屈光不正矫正手术,相关的设备和技术得以快速发展。
准分子激光是一种气体激光,它的工作气体是由常态下化学性质稳定的惰性气体原子如He、Ne、Ar、Kr、Xe和化学性质较活泼的卤素原子如F、Cl,Br等组成。一般情况下,惰性气体原子是不会和别的原子形成分子的,但是如果把它们和卤素元素混合,再以放电的形式加以激励,就能成为激发态的分子,当激发态的分子跃迁回基态时,立刻分解、还原成本来的特性,同时释放出光子,经谐振腔共振放大后,发射出高能量的紫外光激光。
这种处于激发态的分子寿命极短,只有10ms,故称为“准分子”(Excimer)。