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准分子激光器的基本结构激光器的谐振腔用于存储气体、气体放电激励产生激光和激光选模。它由前腔镜、后腔镜、放电电极和预电离电极构成,并通过两排小孔与储气罐相通,以便工作气体的交换、补充。为了获得均匀大面积的稳定放电白癜风,一般的准分子激光器均采用了预电离技术,在主放电开始之前,预电离电极和主放电的阴极之间先加上高压,使它们之间先发生电晕放电,在阴极附近形成均匀的电离层。
准分子激光器的基本结构一般高压为20kv-30kv。气体放电时,脉冲高压电源加在电极上对谐振腔内的工作气体放电,发生能级跃迁产生光子,通过反射镜的反馈振荡,后产生激光从前腔镜输出。